质量流量传感器校准系统适用于生产线上的终检校准，通过对小量程质量流量传感器的通讯功能测试及不同温度下的校准，确保产品精度及质量。校准流程及算法可由用户自定义配置，丰富的登录模式及权限级别设定，自动生成测试日志等，确保操作灵活且便于扩展。

b)应用专利技术

本系统中以下技术正在申请实用新型或发明专利：

《批量传感器固定可识别装置》
《无绕线针床夹具》
《高密封阀组》
《一种多气路连接器装置》

c)系统功能

d)特性详解

兼容多种信号输出类型的传感器——

温度可控范围宽，稳定性优异—— 可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制，温度控制精度为 1℃，目标温度下的温度波动度为 0.2℃；

良好的气路密封性——采用钢质气管，采用少接头设计，确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次（用不同颜色的曲线代表）泄漏测试时的泄漏率。（单位为sccm/s，测试压力为2.5psi，保压时间 20s，每个传感器夹具包含4条气路）

高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm，温度控制精度 1℃。

高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作，8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间，达到160 DUTs/h，满足生产线节拍的要求。

测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下（50/100/160/200sccm）的GRR数据，均<10%。

便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号，损坏时更该模块即可；气路装拆方便；继电器状态通过指示灯显示，指示直观。

完善的安全机制——智能流程判断；提供急停等安全操作机制，在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。

e)运行环境及系统指标